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首页 > 参考数据 > 镀膜(滤光片)的品质

想达到良好的光学镀膜品质是靠基材、洗净设备、镀膜设备、镀膜膜层设计及镀膜环境层层把关而来。 镀膜的流程图如下，文字简略: 基材以超音波洗净机洗净，洗净后排上夹具，送入镀膜机，开始加热及抽真空。达到高真空后，开始镀膜。 镀膜完毕，冷却，泄气，取出基材。

看似简单的工序，一一拆解开来，却是道道关键，详细需注意的条件如下：

基材

最通用的基材大致上有玻璃、压克力 (PMMA)、PC、石英，其他还有金属材料如铝合金。

基材的品质直接影响镀膜后整体的品质，例如:表面刮伤的基材，镀膜后伤痕依旧在，可能还会更加明显，如果是应用在雷射方面，可能会造成雷射光的散射，但是用于一般照明，却是影响不大。追求高品质基材，有可能会使成本增高数倍，因此以未来应用的范围来选用基材的好坏，是较为经济的做法。

这些基材通常要注意的条件有下:

尺寸与厚度、材质、透光度、平整度、平行度、折射系数、膨胀系数、表面品质、内部杂质或气泡、边缘品质、耐热温度、耐冲击、耐压、耐温差变化等等。

洗净

洗净是镀膜前非常重要的工序，最着要的要将基材表面的油污、灰尘、脏污洗掉，并且不能在表面留下水痕或其他痕迹。油污或脏污会使膜层无法牢固地附着在基材表面，灰尘会使膜层有没镀到的洞，一般称针孔。水痕或其他残留的痕渍则会使膜层有白色斑点。

一般洗净要注意的条件有下:

洗净的方式、洗剂的选用、洗净后的烘干、洗净的效果、洗净后置入镀膜机前的保存。

镀膜机与镀膜膜层设计

镀膜机的能力及镀膜的膜层设计是决定光学镀膜的最关键条件。一般会先预设好生产项目来购买镀膜机，如镜头类的产品，镀膜会以抗反射膜(AR Coating)为多，最简单的就是以电热式蒸舟镀单层MgF2，如需多层抗反射膜，则需配置电子枪，如需以低温制程镀塑胶类镜头，则还要加装离子枪，以增加膜层的附着性。

以我们一般所做的多层膜滤光片，由于层数多在18~58层，因此除了配有可置放多种多量的多坩锅双电子枪，还配有离子枪以增加膜层附着力与致密性。膜层设计时，除了依滤光片规格选择镀膜材料(以下简称药材)外，会先以最常用的高折射系数镀膜材料与低折射系数药材，并辅以经验值来预设镀膜层数，在模拟后，依据结果修改药材、层数及每一膜层的膜厚，如此重复进行，一直到超过需求规格后，才算第一阶段完成。

第二阶段则是镀膜完成后，依据镀膜结果(量测光谱或功能测试)来看是否符合所需规格。如不符合，就必须判断不良原因来做药材、层数及膜层的膜厚修改。

镀膜要注意的条件有下:

镀膜机的配备、真空度、镀膜材料、镀膜方式、加热温度、镀膜监控系统、膜层均匀性、膜层附着力。

镀膜环境

针孔是造成不良滤光片的缺点之一。针孔一般是因为镀膜前基材未洗净，或是洗净后空气中的落尘附着上去，在镀膜后，灰尘掉落，使膜层中有一个一个的洞，称为针孔。镀膜机置放的环境，如果有空调控制，在温湿度变化方面会比较小，但空气中的落尘量还是不小。如果是十万级或一万级的无尘室的环境，空气中的落尘量降低到一定的程度，有助于膜层针孔的减少。

镀膜环境要注意的条件有下:

温度及湿度控制能力、落尘量控制能力、地板的种类。

切割方式

切割的形状、基材的厚度、尺寸的公差要求都会影响切割的机台及切割的方法。
一般最经济通用的为刀轮式切割机，以钨钢刀轮在玻璃表面划过，在适当的刀轮角度、下刀压力及下刀高度等条件下，可以轻易以手将玻璃沿着划痕剥开。优点是可以切割大尺寸玻璃基材、机器及耗材成本较低，缺点是边缘有时会有斜边或锐角。
另外还有锯断式的(Die Saw)，适合切割尺寸较小的基材，如:尺寸80*80mm，切割为3*3、1.2*1.2mm之类。
也有可用于切割玻璃基材的雷射切割机上市。

检验方法

穿透或反射光谱以光谱仪检测。
其他附着力(牢固力)及耐温依产品使用环境或条件有几种方法可选用或共用:

1. 胶带测试: 以胶带黏贴在膜面，快速拉起后，不可有脱膜现象。
2. 百格测试: 以刀将膜面以类似井字割画多刀，胶带黏贴在膜面，快速拉起后，不可有脱膜现象。
3. 盐雾测试: 以一定比例的盐+水，喷在膜面上一定时间，以测试膜层的耐候性。
4. 高温高湿: 如摄氏85度、湿度95%连续50小时。
5. 冷热交替: 如零下20度10小时，85度10小时，反覆数次。
6. 高温测试: 摄氏500度烘烤2小时，再以胶带黏贴在膜面，快速拉起后，不可有脱膜现象。